在外延生長領(lǐng)域，高純石墨盤是必不可少的。它在外延生長中起到加熱和裝載半導(dǎo)體晶圓的作用。目前，主流外延設(shè)備廠商配套的石墨盤在結(jié)構(gòu)上基本相同，均采用在石墨盤基座上設(shè)計(jì)一個晶圓形狀的淺凹槽的方式來裝載晶圓。這種設(shè)計(jì)在生長小尺寸的晶圓(比如說4寸半導(dǎo)體晶圓)來說是合理的，維護(hù)起來也很方便。但對于生長大尺寸的外延片，基于降低晶圓被旋轉(zhuǎn)的石墨盤甩出的風(fēng)險(xiǎn)，晶圓槽底部相對于石墨盤頂部的高度比小尺寸石墨盤大一些。