用于真空爐石墨部件的防護(hù)辦法
    本發(fā)明觸及一種用于真空爐石墨部件的防護(hù)辦法，該防護(hù)辦法包括:
    1)對(duì)真空爐石墨部件進(jìn)行拋光打磨,使真空爐石墨部件的表面粗糙度抵達(dá)0.5mm以下；
    2)將拋光打磨后的真空爐石墨部件放入CVD爐內(nèi)；
    3)設(shè)定CVD爐內(nèi)的溫度和壓力，向CVD爐內(nèi)通入甲烷和氮?dú)饣蛟S通入三氯化硼，氨氣和惰性氣體，畢竟在石墨部件表面堆積一層熱解石墨涂層或熱解氮化硼涂層。
    本發(fā)明經(jīng)過在真空爐石墨部件表面涂覆一層熱解石墨或熱解氮化硼涂層，一方面可以避免石墨粉塵蒸發(fā)出來污染反響腔室，然后行進(jìn)產(chǎn)品的純凈度；另一方面可以維護(hù)真空爐石墨部件，延伸真空爐石墨部件的使用壽命，下降企業(yè)本錢。